全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀作為高精度檢測(cè)設(shè)備，在航空航天、半導(dǎo)體制造、核工業(yè)等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。為確保其長(zhǎng)期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性，定期的校準(zhǔn)與維護(hù)是不可少的。以下將從校準(zhǔn)和維護(hù)兩個(gè)方面詳細(xì)闡述全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)方法。 校準(zhǔn)
1.校準(zhǔn)周期與標(biāo)準(zhǔn)
根據(jù)制造商的推薦和儀器的使用頻率，通常應(yīng)定期（如每季度或每年）對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)的目的是確保儀器的測(cè)量精度符合標(biāo)準(zhǔn)要求。校準(zhǔn)應(yīng)使用具有已知漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，其漏率應(yīng)在儀器的測(cè)量范圍內(nèi)，并且精度得到保證。
2.校準(zhǔn)環(huán)境與條件
校準(zhǔn)應(yīng)在穩(wěn)定的環(huán)境溫度和濕度條件下進(jìn)行，一般建議環(huán)境溫度為(23±5)℃，相對(duì)濕度不大于80%，且校準(zhǔn)過(guò)程中室溫變化不超過(guò)±1℃。同時(shí)，校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無(wú)明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場(chǎng)等外部干擾，以保證校準(zhǔn)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
3.校準(zhǔn)步驟
-準(zhǔn)備階段：確保儀器處于預(yù)熱狀態(tài)，所有連接部件安裝正確，無(wú)漏氣現(xiàn)象。
-零點(diǎn)校準(zhǔn)：首先進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)，即在沒(méi)有氦氣泄漏的情況下，調(diào)整儀器使其示值為零。
-標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)：將已知漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔接入檢漏儀系統(tǒng)，待示值穩(wěn)定后讀取并記錄數(shù)據(jù)。重復(fù)測(cè)量多次（一般三次），取平均值以減少誤差。
-數(shù)據(jù)處理：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率和檢漏儀的示值計(jì)算示值誤差，并進(jìn)行必要的溫度修正。如果誤差超出允許范圍，需進(jìn)行進(jìn)一步的調(diào)整或維修。
4.自校功能
部分全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀具備自校功能。在發(fā)現(xiàn)示值誤差較大時(shí)，可利用此功能進(jìn)行內(nèi)部校準(zhǔn)，以恢復(fù)儀器的精度。
維護(hù)
1.清潔保養(yǎng)
-外殼與表面：定期使用柔軟的布或紙巾擦拭儀器外殼和控制面板，去除灰塵和污垢。避免使用刺激性和腐蝕性的化學(xué)物品，以防損壞表面材質(zhì)或影響儀器性能。
-真空系統(tǒng)：保持真空腔體、真空管道、真空閥門的清潔干燥。定期清潔這些部件，防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入并污染真空系統(tǒng)。
2.氦氣供應(yīng)檢查
確保氦氣供應(yīng)充足，并且供應(yīng)管路未受損。檢查供應(yīng)系統(tǒng)的壓力表和流量計(jì)，確保其正常工作。如發(fā)現(xiàn)異常，及時(shí)修理或更換。
3.真空泵維護(hù)
-定期檢查真空泵泵油位和顏色，如發(fā)現(xiàn)油位過(guò)低或油色變深，應(yīng)及時(shí)更換泵油。
-定期進(jìn)行前級(jí)真空泵的換油和深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，確保真空泵的正常運(yùn)行。
4.密封性能檢查
定期檢查真空系統(tǒng)的密封性能和高壓密封接口是否老化，并及時(shí)更換老化的密封件。這有助于防止漏氣并維持真空系統(tǒng)的性能。
5.探測(cè)器保護(hù)
漏氣探測(cè)器是氦質(zhì)譜檢漏儀的核心部件之一，需特別保護(hù)。避免敲擊或損壞探測(cè)器，保持其表面干凈和無(wú)雜質(zhì)。定期檢查探測(cè)器的工作狀態(tài)，如有問(wèn)題及時(shí)維修或更換。
6.軟件與固件更新
定期關(guān)注制造商發(fā)布的最新軟件和固件版本，并根據(jù)需要下載并安裝。這有助于提升儀器的性能和穩(wěn)定性，并修復(fù)已知的問(wèn)題。
7.儲(chǔ)存與運(yùn)輸
在不使用氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)，注意妥善儲(chǔ)存和運(yùn)輸。避免長(zhǎng)時(shí)間曝露在潮濕、高溫和塵埃環(huán)境中，以防止儀器受損和性能下降。使用適當(dāng)?shù)陌b和保護(hù)材料，確保儀器在運(yùn)輸過(guò)程中不受損壞。
通過(guò)遵循上述校準(zhǔn)與維護(hù)步驟，可以確保全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性，延長(zhǎng)其使用壽命，并為用戶提供可靠的漏氣檢測(cè)服務(wù)。
